日本SMC真空发生器使用说明书

[单向阀]
●通过背压防止液体回流
●带O型密封圈、有*可动部分的*设计
●无弹簧结构通过二次侧的振动、振盈或压力波动来抑制发尘
[真空发生器]
●真空发生设备
●在交换储气瓶时，可释放在配管中残留的无用气体
[流量开关]
●在给定的流量下，检测出配管破裂而导致的过剩流量

AP70SMV4MV6FV4

字段描述字段取值取值描述
形式70小型·高
材质SSUS316L
配管连接进口N2通口MV41/4面密封接头 外螺纹
配管连接排气侧MV63/8面密封接头 外螺纹
配管连接真空侧FV41/4面密封接头 内螺纹

注意事项：

确认产品的安装方向？请确认产品的安装方向
带有IN标志的是进口侧，带有OUT标志的是排气侧。仅箭头所示的产品表示流体从入口侧流向排气侧的方向。入口侧和排气侧排成条直线。真空侧是在与入口侧和排气侧的方向垂直的方向上的端口，取决于产品，存在VAC标记。请检查安装方向并将其正确放置。
②配管，惰性气体冲洗，清洗等惰性气体冲洗，惰性气体冲洗，惰性气体冲洗，清洗等。连接产品后请连接产品？
如果管道中留有灰尘或水垢，可能会导致故障或故障。用惰性气体以外的气体冲洗是危险的，请不要这样做。

请不要用裸手关节部和③系统产品的气体接触部分触及？请不要用裸手使用脂和油触摸各种部件的接合部和对照产品的气体接触部？此外，油脂和油，以控制产物的各部分请不要使用。请不要。
④密封开的包装开密封包装梱梱请在清洁的环境中进行，请在稀薄的环境，干净的环境，请进行进行？
产品紧密封闭，双重包装在洁净室。请在洁净室或干净的环境中打开内包装。
⑤请确保维护空间？请确保维护空间？
请确保维护检查所需的空间。
⑥根据用于管的连接管的工业标准焊接为焊接管接头的接头管接头（见SEMI标准˚F78），请通过焊接管道。事实动吹扫气体，在形式态设备阀门有发展，焊接入口的事实 - 从出口侧 - 侧请通过从入口流动的吹扫气体 - - 设备的侧，焊接出口的事实设备的侧。
⑦用于管连接的接头请连接伙伴是提供种控制产品配件和面密封接头（金属垫片面密封型），用于将面部密封件的配管连接的管接头的端面密封接头的大小相同。
将垫圈放在接头的顶端，拧紧螺母，然后用扳手转动阴螺母1/8圈。请使用不锈钢或镍作垫片。
⑧将操作液连接到操作口。将操作流体连接到操作口。
对于具有空气式阀门的设备，将操作液体连接到操作口。请使用氮气或清洁空气作为操作液。
⑨配管后请进行泄漏检查，进行泄漏检查，进行泄漏检查。
根据用途，请进行氦泄漏测试，压降测试，气泡泄漏测试等的泄漏检查。对于面密封配件和管道焊接接头，建议按照标准（见SEMI标准F1）进行氦气泄漏测试。

AP70SMV4MV6FV4
AR25K-F02BE4-1RZA-B
VX212AZ1J
AWM30-F03C-R
CP96SDB100-6
VNB212AS-F1-5D-B-Q
AWD20-F02G-C
ARM11AA4-533-J
CDM2XL25TF-50Z
LEY32V7A-100L-S5M2
AWD20-F02G-C
ARM11AA4-533-J
CDM2XL25TF-50Z
LEY32V7A-100L-S5M2
CD85N25-430-A-X2018
SS5V1-W16SA2WD-10BS-C6

日本SMC真空发生器使用说明书